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仪器检定干涉法测量Rz长度参数

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仪器检定干涉法测量Rz长度参数

发布日期:2018-07-17 编辑: 点击:

仪器检定干涉法测量Rz长度参数

(1)确定取样长度干涉显微镜的视场范围各类型之间有所不同,

一般为0. 25mm或0.32mmo当被测表面Rz值≥0.02 5pLm -,0.5PLm时,

取样长度为0.08mm或0.25mm.仪器校正测量可在一个视场内测量当尺z值≥0. 51um -0. 8rum时,

计量外校时,取样长度为0.8mm,需要移动工作台,在3个连续的视场里测量。

(2)确定评定长度评定长度应包含5个连续的取样长度,

可视被测表面的情况测多于5个或少于5个取样长度。

校准计量每一取样长度内测算出一个Rz值,外校检测仪器时再取平均值作为该评定长度内的Rz值。

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